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　　高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道，一般要求管線(xiàn)不應(yīng)大長(zhǎng)，不應(yīng)出現(xiàn)不易吹掃干凈的“盲管”等死角。在干管或支管末端設(shè)置必要的吹除口和取樣口。在一些非連續(xù)運(yùn)行的用戶(hù)，在管道末端連續(xù)不斷的小氣量放空，以使管道內(nèi)氣體常流動(dòng)，不會(huì)出現(xiàn)“死空間”。根據(jù)過(guò)程氣體質(zhì)量要求，必要時(shí)還要布置末端凈化裝置。一般在進(jìn)入潔凈廠房的高純氣體管道的控制閥門(mén)、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線(xiàn)分析儀器等，集中設(shè)在氣體人口室內(nèi)，便于統(tǒng)一管理和控制。

　　氣體管路工程供氣方式

　　氣體管路工程氣瓶區(qū)域用管路引進(jìn)。除了儀器空氣(工廠空氣)是工廠直接生產(chǎn)外，其余氣體都是采用高壓氣瓶柜供氣。安裝半自動(dòng)轉(zhuǎn)換閥控制氣瓶更換，主要的控制閥門(mén)和減壓閥門(mén)都安裝在室外。氣體管路主要材質(zhì)為不銹鋼，安裝在天花板下方，沿著墻走，這樣便于檢查和維修。

　　高純氣體管路工程管路處理規(guī)范

　　1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級(jí)的預(yù)制間中預(yù)制，施工人員應(yīng)穿潔凈服，使用的工機(jī)具應(yīng)保證潔凈，另外施工人員應(yīng)有較強(qiáng)的潔凈意識(shí)，施工過(guò)程盡量減少對(duì)管子的污染。

　　2、管道的下料管道下料使用的是專(zhuān)用的切管工具，切出的端面絕對(duì)和管軸心線(xiàn)垂直，切管時(shí)應(yīng)采取措施避免外界的灰塵、空氣對(duì)管子內(nèi)部的污染，下好的料應(yīng)分組編號(hào)以便于組對(duì)焊接。

　　3、管道焊接，管道焊接前應(yīng)先編制焊接程序輸入到自動(dòng)焊機(jī)，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進(jìn)行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數(shù)一直儲(chǔ)存在焊機(jī)里，自動(dòng)焊機(jī)焊接時(shí)又非常穩(wěn)定，所以焊縫質(zhì)量也是合格的。焊接質(zhì)量由微機(jī)控制，減少了由于人為因素對(duì)焊接質(zhì)量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質(zhì)的焊縫。

　　高純氣體管路施工的要求

　　1、焊接管道須通惰性氣體(氮?dú)?進(jìn)行焊接保護(hù)。

　　2、管與管的連接、管與閥門(mén)的連接應(yīng)采用套焊、插接焊。

　　3、管道系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置區(qū)域閥箱。

　　4、終端設(shè)備帶要求氣、電管線(xiàn)分腔。